芯片由于其精密性能原因，对于外界的环境敏感程度比较高，如果有灰尘沾染就可能造成芯片的失效等情况，为了降低这种风险，需要把制造机器安置在基本上没有任何微尘的无尘车间里。本文以EPC工程（总承包）集成服务商CEIDI西递的某项目为例，具体谈谈半导体芯片制造无尘车间设计方案。

该项目厂区设洁净生产区㎡（非洁净生产区和仓储办公用房另计），四周设清洁走廊,洁净生产区洁净等级按照厂家要求全部确定为百级,清洁走廊为万级,为满足光刻、腐蚀、扩散、蒸发、表面纯化等工艺流程上的往复交叉，相对高的空间布局是为拓宽对不同生产工艺的适应性和发展变化的灵活性。当下有很多厂方都采用此种设计此种做法也更接近国外的先进设计。

无尘车间采用孔状框型地板，以便空气能够从天花板垂直流动到制造和设备区的底部区域，当气流回送到无尘室时，将通过微粒空气过滤器除去气流所带的大部分微粒。空气扰流会将墙壁、天花板、桌子和工具表面上的微粒带入空气中，而且使得微粒不容易静止，但通过线性气流后，空气中的微粒就能很快被气流带走。因此CEIDI西递将维持线性直线气流、避免空气扰动作为该无尘车间的建设重点。

针对IC生产的工艺高要求，百级环境人净与物净设施需要严格按照标准建设。

遵循人净要求做动线布局设计:

入口-换鞋-更换外出服-洗浴-清洁走廊-二次洗浴-换洁净服-风淋室-洁净生产区

遵循物净要求做动线布局设计:

入口-原料库-粗洁净-传递窗-精洁净-传递窗-洁净生产区-传递窗-包装-成品库

除此之外在施工阶段要严格注意各工段的防静电区域，除了防静电装修，必要的工段设计师要布局专业的防静电仪器，同时，消防和自控系统因地制宜。CEIDI西递一般会将空气净化机房、超纯水处理站设计于同一层,洁净空气、纯净水通过技术管道夹层送到洁净生产区。可以有效地避免设备运行时震动产生灰尘,设备用房与主体厂房间结构设缝断开。

半导体芯片制造无尘车间在空气净化、送排风量、标准气压、工作人员与物件出入管理方法等层面比较严苛，EPC工程（总承包）集成服务商CEIDI西递的无尘车间设计方案“经济、实用、安全、高效”，确保生产车间房间内的溫度、洁净度等级、房间内工作压力、气旋速度气旋遍布、噪声震动及照明灯具、静电感应操纵等在要求的范畴内，为业主创造既满足工艺生产、又符合环保要求的车间环境。有需要的企业可以联系登录上海西递实业有限公司

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